本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備制造，特別涉及一種具有保護作用的半導(dǎo)體晶圓劃片機。
背景技術(shù)：
1、半導(dǎo)體器件是具有特定功能的電子器件，半導(dǎo)體器件在制作時需要使用晶圓生產(chǎn)芯片，半導(dǎo)體晶圓在制作時需要使用劃片機，將晶圓放置在劃片機內(nèi)部，劃片機內(nèi)部的切割刀片對晶圓進行精準(zhǔn)切割，切割完成后工作人員再拿取晶圓進行后續(xù)加工。
2、根據(jù)cn201810532880.5，本發(fā)明屬于半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體的說是一種半導(dǎo)體晶圓劃片機，包括工作臺、吸盤、真空發(fā)生器和切割刀，工作臺內(nèi)設(shè)有真空發(fā)生器；吸盤安裝在工作臺上；吸盤用于吸附晶圓；吸盤上方設(shè)有切割刀；還包括調(diào)節(jié)裝置；調(diào)節(jié)裝置安裝在吸盤的吸附孔上，調(diào)節(jié)裝置用于調(diào)整吸附孔的吸附面積。本發(fā)明通過設(shè)置調(diào)節(jié)裝置改變吸附孔的大小，避免吸附孔過小造成吸附力不足，造成切割損壞，影響晶圓的品質(zhì)；通過在吸附孔一側(cè)設(shè)置連通孔，連通孔內(nèi)滑動安裝著疏通塊，當(dāng)吸附孔內(nèi)抽真空后，外界氣壓推動疏通塊向吸附孔內(nèi)移動，在晶圓切割完成后，疏通塊在彈簧的作用下回復(fù)，緩解切割粉屑對吸附孔堵塞。
3、然而，劃片機一般通過護板結(jié)構(gòu)對工作區(qū)域進行防護，使用劃片機對晶圓切割時，工作人員打開護板將晶圓放置在工作區(qū)域內(nèi)部后關(guān)閉護板，切割刀片移動到晶圓位置處時，切割刀片高速旋轉(zhuǎn)對晶圓切割時，當(dāng)工作人員發(fā)現(xiàn)晶圓切割錯誤時，工作人員容易直接打開護板對晶圓進行操作，當(dāng)切割刀片高速旋轉(zhuǎn)時工作人員容易接觸到切割刀片，容易導(dǎo)致切割刀片傷害到工作人員，從而使人員受到傷害。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、有鑒于此，本發(fā)明提供一種具有保護作用的半導(dǎo)體晶圓劃片機，其具有切割部件對晶圓進行切割時，劃片護板和連接護板無法轉(zhuǎn)動打開，避免了切割部件運行時工作人員打開擋板導(dǎo)致切割部件傷害到工作人員的問題，保證了工作人員使用劃片機的安全性。
2、本發(fā)明提供了一種具有保護作用的半導(dǎo)體晶圓劃片機的目的與功效，具體包括：劃片主體、擦邊擋板、控制部件、切割部件、加工底座、劃片護板、連接護板、防護滑塊、護板連接機構(gòu)和劃片保護機構(gòu)；所述擦邊擋板固定連接在劃片主體右端面中間位置，擦邊擋板為透明聚氯乙烯矩形結(jié)構(gòu)；所述控制部件固定連接在劃片主體前端面上側(cè)；所述切割部件滑動連接在劃片主體內(nèi)端面上側(cè)；所述加工底座滑動連接在劃片主體內(nèi)端面下側(cè)，切割部件滑動在加工底座上側(cè)；所述劃片護板轉(zhuǎn)動在劃片主體前端面右側(cè)，劃片護板為透明聚氯乙烯l形板結(jié)構(gòu)；所述連接護板轉(zhuǎn)動在劃片主體前端面左側(cè)，連接護板為透明聚氯乙烯矩形結(jié)構(gòu)，劃片護板位于連接護板右側(cè)；所述防護滑塊滑動連接在劃片主體前端面內(nèi)部上側(cè)；所述護板連接機構(gòu)設(shè)置在劃片護板和連接護板上；所述劃片保護機構(gòu)設(shè)置在劃片主體內(nèi)部。
3、進一步的，所述護板連接機構(gòu)包括有：護板轉(zhuǎn)軸和護板扭簧；所述護板轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動連接在劃片主體右端面內(nèi)部，護板轉(zhuǎn)軸中間位置和劃片護板固定連接；所述護板扭簧固定連接在劃片主體內(nèi)部上側(cè)，護板轉(zhuǎn)軸和護板扭簧彈性連接。
4、進一步的，所述護板連接機構(gòu)還包括有：對齊插槽和對齊凸塊；所述對齊插槽共設(shè)置有多組，多組對齊插槽分別開設(shè)在劃片護板前端面左側(cè)；所述對齊凸塊共設(shè)置有多組，多組對齊凸塊固定連接在連接護板右端面，多組對齊插槽分別和多組對齊凸塊插接連接。
5、進一步的，所述護板連接機構(gòu)還包括有：連接掰槽、連接滑塊和連接彈簧；所述連接掰槽開設(shè)在劃片護板前端面下側(cè)；所述連接滑塊滑動連接在劃片護板內(nèi)部，連接滑塊滑動在連接掰槽內(nèi)部；所述連接彈簧共設(shè)置有兩組，兩組連接彈簧分別固定連接在劃片護板內(nèi)部上下兩側(cè)，兩組連接彈簧分別和連接滑塊右端面彈性連接。
6、進一步的，所述護板連接機構(gòu)還包括有：連接插孔和連接插銷；所述連接插孔共設(shè)置有兩組，兩組連接插孔分別開設(shè)在上下兩側(cè)的對齊凸塊右端面；所述連接插銷共設(shè)置有兩組，兩組連接插銷分別固定連接在連接滑塊左端面上下兩側(cè)，兩組連接插孔分別和兩組連接插銷插接連接。
7、進一步的，所述劃片保護機構(gòu)包括有：劃片齒條、劃片轉(zhuǎn)軸和劃片齒輪；所述劃片齒條固定連接在切割部件前端面上側(cè)，劃片齒條滑動在劃片主體內(nèi)部上側(cè)；所述劃片轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動連接在劃片主體內(nèi)部后側(cè)；所述劃片齒輪同軸固定連接在劃片轉(zhuǎn)軸右側(cè)，劃片齒條和劃片齒輪嚙合共同組成齒輪齒條傳動機構(gòu)。
8、進一步的，所述劃片保護機構(gòu)還包括有：劃片帶輪、防護傳動帶、防護轉(zhuǎn)軸和防護帶輪；所述劃片帶輪同軸固定連接在劃片轉(zhuǎn)軸左側(cè)；所述防護轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動連接在劃片主體內(nèi)部前側(cè)；所述防護帶輪同軸固定連接在防護轉(zhuǎn)軸右側(cè)；所述防護傳動帶傳動連接在劃片帶輪和防護帶輪外端面。
9、進一步的，所述劃片保護機構(gòu)還包括有：變向齒輪、防護齒輪和防護齒條；所述變向齒輪同軸固定連接在防護轉(zhuǎn)軸左側(cè)；所述防護齒輪轉(zhuǎn)動連接在劃片主體內(nèi)部前側(cè)，變向齒輪和防護齒輪嚙合共同組成齒輪傳動機構(gòu)；所述防護齒條滑動連接在劃片主體內(nèi)部前側(cè)，防護齒條固定連接在防護滑塊后端面，防護齒輪和防護齒條嚙合共同組成齒輪齒條傳動機構(gòu)。
10、進一步的，所述劃片保護機構(gòu)還包括有：防護插孔和防護插銷；所述防護插孔開設(shè)在連接護板上端面；所述防護插銷固定連接在防護滑塊下端面，防護插孔和防護插銷插接連接。
11、有益效果
12、本發(fā)明通過采用護板連接機構(gòu)，實現(xiàn)劃片護板和連接護板將劃片機的工作區(qū)域進行防護，護板扭簧彈力帶動劃片護板和連接護板始終防護在劃片機的工作區(qū)域前側(cè)，避免工作區(qū)域暴露在外側(cè)導(dǎo)致切割部件傷害到工作人員或內(nèi)部的水飛濺出來，劃片護板和連接護板根據(jù)實際需要劃片護板和連接護板可以進行拆卸。
13、此外，通過采用劃片保護機構(gòu)，實現(xiàn)當(dāng)切割部件對晶圓進行切割時，防護插銷插入防護插孔內(nèi)部，劃片護板和連接護板無法轉(zhuǎn)動打開，避免了切割部件運行時工作人員打開擋板導(dǎo)致切割部件傷害到工作人員的問題，保證了工作人員使用劃片機的安全性，當(dāng)切割部件切割晶圓時，切割部件損壞時無法移動時，工作人員可以通過對劃片護板和連接護板拆卸，對切割部件進行維護，方便工作人員使用劃片機。
1.一種具有保護作用的半導(dǎo)體晶圓劃片機，包括：劃片主體（1）、擦邊擋板（2）、控制部件（3）、切割部件（4）、加工底座（5）、劃片護板（6）、連接護板（7）、防護滑塊（14）、護板連接機構(gòu)和劃片保護機構(gòu)；所述擦邊擋板（2）固定連接在劃片主體（1）右端面中間位置，擦邊擋板（2）為透明聚氯乙烯矩形結(jié)構(gòu)；其特征在于，所述控制部件（3）固定連接在劃片主體（1）前端面上側(cè)；所述切割部件（4）滑動連接在劃片主體（1）內(nèi)端面上側(cè)；所述加工底座（5）滑動連接在劃片主體（1）內(nèi)端面下側(cè)，切割部件（4）滑動在加工底座（5）上側(cè)；所述劃片護板（6）轉(zhuǎn)動在劃片主體（1）前端面右側(cè)，劃片護板（6）為透明聚氯乙烯l形板結(jié)構(gòu)；所述連接護板（7）轉(zhuǎn)動在劃片主體（1）前端面左側(cè)，連接護板（7）為透明聚氯乙烯矩形結(jié)構(gòu)，劃片護板（6）位于連接護板（7）右側(cè)；所述防護滑塊（14）滑動連接在劃片主體（1）前端面內(nèi)部上側(cè)；所述護板連接機構(gòu)設(shè)置在劃片護板（6）和連接護板（7）上；所述劃片保護機構(gòu)設(shè)置在劃片主體（1）內(nèi)部。
2.如權(quán)利要求1所述一種具有保護作用的半導(dǎo)體晶圓劃片機，其特征在于：所述護板連接機構(gòu)包括有：護板轉(zhuǎn)軸（8）和護板扭簧（801）；所述護板轉(zhuǎn)軸（8）轉(zhuǎn)動連接在劃片主體（1）右端面內(nèi)部，護板轉(zhuǎn)軸（8）中間位置和劃片護板（6）固定連接；所述護板扭簧（801）固定連接在劃片主體（1）內(nèi)部上側(cè)，護板轉(zhuǎn)軸（8）和護板扭簧（801）彈性連接。
3.如權(quán)利要求1所述一種具有保護作用的半導(dǎo)體晶圓劃片機，其特征在于：所述護板連接機構(gòu)還包括有：對齊插槽（601）和對齊凸塊（701）；所述對齊插槽（601）共設(shè)置有多組，多組對齊插槽（601）分別開設(shè)在劃片護板（6）前端面左側(cè)；所述對齊凸塊（701）共設(shè)置有多組，多組對齊凸塊（701）固定連接在連接護板（7）右端面，多組對齊插槽（601）分別和多組對齊凸塊（701）插接連接。
4.如權(quán)利要求1所述一種具有保護作用的半導(dǎo)體晶圓劃片機，其特征在于：所述護板連接機構(gòu)還包括有：連接掰槽（602）、連接滑塊（9）和連接彈簧（901）；所述連接掰槽（602）開設(shè)在劃片護板（6）前端面下側(cè)；所述連接滑塊（9）滑動連接在劃片護板（6）內(nèi)部，連接滑塊（9）滑動在連接掰槽（602）內(nèi)部；所述連接彈簧（901）共設(shè)置有兩組，兩組連接彈簧（901）分別固定連接在劃片護板（6）內(nèi)部上下兩側(cè)，兩組連接彈簧（901）分別和連接滑塊（9）右端面彈性連接。
5.如權(quán)利要求4所述一種具有保護作用的半導(dǎo)體晶圓劃片機，其特征在于：所述護板連接機構(gòu)還包括有：連接插孔（702）和連接插銷（902）；所述連接插孔（702）共設(shè)置有兩組，兩組連接插孔（702）分別開設(shè)在上下兩側(cè)的對齊凸塊（701）右端面；所述連接插銷（902）共設(shè)置有兩組，兩組連接插銷（902）分別固定連接在連接滑塊（9）左端面上下兩側(cè)，兩組連接插孔（702）分別和兩組連接插銷（902）插接連接。
6.如權(quán)利要求1所述一種具有保護作用的半導(dǎo)體晶圓劃片機，其特征在于：所述劃片保護機構(gòu)包括有：劃片齒條（401）、劃片轉(zhuǎn)軸（10）和劃片齒輪（1001）；所述劃片齒條（401）固定連接在切割部件（4）前端面上側(cè)，劃片齒條（401）滑動在劃片主體（1）內(nèi)部上側(cè)；所述劃片轉(zhuǎn)軸（10）轉(zhuǎn)動連接在劃片主體（1）內(nèi)部后側(cè)；所述劃片齒輪（1001）同軸固定連接在劃片轉(zhuǎn)軸（10）右側(cè)，劃片齒條（401）和劃片齒輪（1001）嚙合共同組成齒輪齒條傳動機構(gòu)。
7.如權(quán)利要求6所述一種具有保護作用的半導(dǎo)體晶圓劃片機，其特征在于：所述劃片保護機構(gòu)還包括有：劃片帶輪（1002）、防護傳動帶（11）、防護轉(zhuǎn)軸（12）和防護帶輪（1201）；所述劃片帶輪（1002）同軸固定連接在劃片轉(zhuǎn)軸（10）左側(cè)；所述防護轉(zhuǎn)軸（12）轉(zhuǎn)動連接在劃片主體（1）內(nèi)部前側(cè)；所述防護帶輪（1201）同軸固定連接在防護轉(zhuǎn)軸（12）右側(cè)；所述防護傳動帶（11）傳動連接在劃片帶輪（1002）和防護帶輪（1201）外端面。
8.如權(quán)利要求7所述一種具有保護作用的半導(dǎo)體晶圓劃片機，其特征在于：所述劃片保護機構(gòu)還包括有：變向齒輪（1202）、防護齒輪（13）和防護齒條（1401）；所述變向齒輪（1202）同軸固定連接在防護轉(zhuǎn)軸（12）左側(cè)；所述防護齒輪（13）轉(zhuǎn)動連接在劃片主體（1）內(nèi)部前側(cè)，變向齒輪（1202）和防護齒輪（13）嚙合共同組成齒輪傳動機構(gòu)；所述防護齒條（1401）滑動連接在劃片主體（1）內(nèi)部前側(cè)，防護齒條（1401）固定連接在防護滑塊（14）后端面，防護齒輪（13）和防護齒條（1401）嚙合共同組成齒輪齒條傳動機構(gòu)。
9.如權(quán)利要求8所述一種具有保護作用的半導(dǎo)體晶圓劃片機，其特征在于：所述劃片保護機構(gòu)還包括有：防護插孔（703）和防護插銷（1402）；所述防護插孔（703）開設(shè)在連接護板（7）上端面；所述防護插銷（1402）固定連接在防護滑塊（14）下端面，防護插孔（703）和防護插銷（1402）插接連接。