本公開涉及氣密結(jié)構(gòu)體及其制造方法、以及氣密保持用基底樹脂組合物。

背景技術(shù)：

1、近年來，在保持了氣密性的中空結(jié)構(gòu)內(nèi)具有mems(micro?electro?mechanicalsystem，微機(jī)電系統(tǒng))等微細(xì)結(jié)構(gòu)體的例子有增加傾向。中空結(jié)構(gòu)內(nèi)是與外部隔斷的空間，收納在空間內(nèi)的微細(xì)結(jié)構(gòu)體與外部環(huán)境隔離而被保護(hù)。進(jìn)而，作為保持了氣密性的結(jié)構(gòu)體的具體例，也已知有陀螺儀傳感器、加速度傳感器、saw(surface?acoustic?wave(聲表面波))·baw(bulk?acoustic?wave(體聲波))濾波器、流路芯片、光波導(dǎo)元件、光學(xué)元件等結(jié)構(gòu)體。

2、為了維持中空結(jié)構(gòu)內(nèi)的氣密性，可列舉在中空結(jié)構(gòu)的外側(cè)設(shè)置使用了原子層沉積法(atomic?layer?deposition:ald)的ald層的方法(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。

3、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

4、專利文獻(xiàn)

5、專利文獻(xiàn)1：日本特表2016-511535號公報

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、發(fā)明所要解決的課題

2、中空結(jié)構(gòu)例如可以通過使設(shè)置在一對基板上的au制或sn-cu合金制的側(cè)壁框的頂部彼此進(jìn)行金屬接合、或者使用永久抗蝕劑作為樹脂材料而在一對基板間設(shè)置樹脂制的肋而形成。

3、然而，當(dāng)將金屬制側(cè)壁框的頂部彼此進(jìn)行金屬接合時，有時在接合面中產(chǎn)生微小的空隙。如果該空隙貫通中空結(jié)構(gòu)的內(nèi)側(cè)和外側(cè)，則中空結(jié)構(gòu)內(nèi)的氣密性受損。另外，在通過在一對基板的一方形成樹脂制的肋并使肋的頂部與一對基板的另一方接觸而形成中空結(jié)構(gòu)的情況下，如果肋的頂部不平滑，則在肋與基板的接觸部產(chǎn)生貫通中空結(jié)構(gòu)的內(nèi)側(cè)和外側(cè)的空隙，中空結(jié)構(gòu)內(nèi)的氣密性也受損。另外，有時在樹脂制的肋產(chǎn)生微細(xì)的龜裂，微細(xì)的龜裂也可能成為損害中空結(jié)構(gòu)內(nèi)的氣密性的原因。

4、在此，ald通過以原子層水平控制膜厚，能夠形成平坦且致密的薄膜。在ald的原理上，成膜速率即使是一般的氧化鋁(al2o3)在每1個循環(huán)中也為0.11nm左右，為1小時內(nèi)100nm～300nm這種程度，非?；ㄙM(fèi)時間。因此，僅通過花費(fèi)成膜時間的ald薄膜來維持中空結(jié)構(gòu)的氣密性是不現(xiàn)實(shí)的。

5、本公開是鑒于上述以往的情況而完成的，其目的在于提供氣密性優(yōu)異的氣密結(jié)構(gòu)體及其制造方法。另外，本公開的目的在于，提供氣密性優(yōu)異的氣密結(jié)構(gòu)體的制造中使用的氣密保持用基底樹脂組合物。

6、用于解決課題的手段

7、用于實(shí)現(xiàn)上述課題的具體手段如下。

8、<1>一種氣密結(jié)構(gòu)體，其具有：氣密部；基底層，其包含覆蓋所述氣密部的邊緣部的樹脂固化物；以及ald層，其覆蓋所述基底層。

9、<2>根據(jù)<1>所述的氣密結(jié)構(gòu)體，其中，所述樹脂固化物的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為150℃～400℃。

10、<3>根據(jù)<1>或<2>所述的氣密結(jié)構(gòu)體，其中，所述樹脂固化物的5％重量減少溫度為250℃～400℃。

11、<4>根據(jù)<1>～<3>中任一項所述的氣密結(jié)構(gòu)體，其中，所述樹脂固化物在165℃時的儲能模量為10mpa～50gpa。

12、<5>根據(jù)<1>～<4>中任一項所述的氣密結(jié)構(gòu)體，其中，所述樹脂固化物的線膨脹系數(shù)為0ppm/k～100ppm/k。

13、<6>根據(jù)<1>～<5>中任一項所述的氣密結(jié)構(gòu)體，其中，所述樹脂固化物的線膨脹系數(shù)與所述ald層的線膨脹系數(shù)之差為0ppm/k～30ppm/k。

14、<7>根據(jù)<1>～<6>中任一項所述的氣密結(jié)構(gòu)體，其中，所述氣密部由第一覆蓋基板、第二覆蓋基板、以及將所述第一覆蓋基板與所述第二覆蓋基板接合并將所述氣密部的內(nèi)側(cè)與外側(cè)隔開的壁構(gòu)件形成。

15、<8>根據(jù)<7>所述的氣密結(jié)構(gòu)體，其中，所述壁構(gòu)件由金屬構(gòu)成。

16、<9>根據(jù)<7>所述的氣密結(jié)構(gòu)體，其中，所述壁構(gòu)件由樹脂構(gòu)成。

17、<10>根據(jù)<1>～<9>中任一項所述的氣密結(jié)構(gòu)體，其中，所述氣密部的內(nèi)部填充有非活性氣體。

18、<11>根據(jù)<1>～<10>中任一項所述的氣密結(jié)構(gòu)體，其中，所述ald層包含al2o3。

19、<12>一種氣密結(jié)構(gòu)體的制造方法，包括：通過用固化性樹脂組合物覆蓋氣密部的邊緣部來形成固化性樹脂組合物層；使所述固化性樹脂組合物層固化來形成基底層；以及形成覆蓋所述基底層的ald層。

20、<13>根據(jù)<12>所述的氣密結(jié)構(gòu)體的制造方法，其中，所述固化性樹脂組合物具有熱固性。

21、<14>根據(jù)<12>或<13>所述的氣密結(jié)構(gòu)體的制造方法，其中，所述固化性樹脂組合物為正型感光性樹脂組合物。

22、<15>根據(jù)<12>～<14>中任一項所述的氣密結(jié)構(gòu)體的制造方法，其中，所述氣密部是使用在一個面設(shè)置有金屬制的第一側(cè)壁框的第一覆蓋基板和在一個面設(shè)置有金屬制的第二側(cè)壁框的第二覆蓋基板，將所述第一側(cè)壁框的頂部和所述第二側(cè)壁框的頂部接合而形成的。

23、<16>一種氣密保持用基底樹脂組合物，其包含固化性成分。

24、<17>根據(jù)<16>所述的氣密保持用基底樹脂組合物，其為正型感光性樹脂組合物。

25、<18>根據(jù)<16>所述的氣密保持用基底樹脂組合物，其為負(fù)型感光性樹脂組合物。

26、發(fā)明效果

27、根據(jù)本公開，能夠提供氣密性優(yōu)異的氣密結(jié)構(gòu)體及其制造方法。另外，根據(jù)本公開，能夠提供氣密性優(yōu)異的氣密結(jié)構(gòu)體的制造中使用的氣密保持用基底樹脂組合物。

1.一種氣密結(jié)構(gòu)體，其具有：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣密結(jié)構(gòu)體，所述樹脂固化物的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為150℃～400℃。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣密結(jié)構(gòu)體，所述樹脂固化物的5％重量減少溫度為250℃～400℃。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣密結(jié)構(gòu)體，所述樹脂固化物在165℃時的儲能模量為10mpa～50gpa。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣密結(jié)構(gòu)體，所述樹脂固化物的線膨脹系數(shù)為0ppm/k～100ppm/k。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣密結(jié)構(gòu)體，所述樹脂固化物的線膨脹系數(shù)與所述ald層的線膨脹系數(shù)之差為0ppm/k～30ppm/k。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣密結(jié)構(gòu)體，所述氣密部由第一覆蓋基板、第二覆蓋基板、以及將所述第一覆蓋基板與所述第二覆蓋基板接合并將所述氣密部的內(nèi)側(cè)與外側(cè)隔開的壁構(gòu)件形成。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的氣密結(jié)構(gòu)體，所述壁構(gòu)件由金屬構(gòu)成。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的氣密結(jié)構(gòu)體，所述壁構(gòu)件由樹脂構(gòu)成。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣密結(jié)構(gòu)體，所述氣密部的內(nèi)部填充有非活性氣體。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣密結(jié)構(gòu)體，所述ald層包含al2o3。

12.一種氣密結(jié)構(gòu)體的制造方法，包括：通過用固化性樹脂組合物覆蓋氣密部的邊緣部來形成固化性樹脂組合物層；將所述固化性樹脂組合物層固化來形成基底層；以及形成覆蓋所述基底層的ald層。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的氣密結(jié)構(gòu)體的制造方法，所述固化性樹脂組合物具有熱固性。

14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的氣密結(jié)構(gòu)體的制造方法，所述固化性樹脂組合物為正型感光性樹脂組合物。

15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的氣密結(jié)構(gòu)體的制造方法，所述氣密部是使用在一個面設(shè)置有金屬制的第一側(cè)壁框的第一覆蓋基板和在一個面設(shè)置有金屬制的第二側(cè)壁框的第二覆蓋基板，將所述第一側(cè)壁框的頂部和所述第二側(cè)壁框的頂部接合而形成的。

16.一種氣密保持用基底樹脂組合物，其包含固化性成分。

17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的氣密保持用基底樹脂組合物，其為正型感光性樹脂組合物。

18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的氣密保持用基底樹脂組合物，其為負(fù)型感光性樹脂組合物。